半導(dǎo)體自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)項(xiàng)目可行性研究報(bào)告

1、項(xiàng)目基本情況

（1）項(xiàng)目名稱：半導(dǎo)體自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)項(xiàng)目

（2）項(xiàng)目建設(shè)單位：沈陽新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司

（3）建設(shè)地點(diǎn)：遼寧省沈陽市

（4）項(xiàng)目性質(zhì)：新建

（5）主要產(chǎn)品：自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)、潔凈存儲(chǔ)系統(tǒng)、潔凈搬運(yùn)機(jī)器人。項(xiàng)目建成后，達(dá)產(chǎn)年預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年均營業(yè)收入約 119,000.00 萬元。

（6）項(xiàng)目總投資：65,572.09 萬元

（7）項(xiàng)目建設(shè)周期：2.5 年

（8）主要建設(shè)內(nèi)容：AMHS 裝備制造中心、研發(fā)設(shè)計(jì)大廈、廠區(qū)建設(shè)工程，廠區(qū)建設(shè)工程包括廠房改造、生產(chǎn)及輔助生產(chǎn)設(shè)施、動(dòng)力設(shè)施、環(huán)保設(shè)施、安全設(shè)施、消防設(shè)施、管理設(shè)施等。

2、項(xiàng)目經(jīng)濟(jì)效益分析

經(jīng)過可行性論證及項(xiàng)目收益測(cè)算，本項(xiàng)目具有良好的經(jīng)濟(jì)效益。項(xiàng)目實(shí)施后，能夠?yàn)楣編矸€(wěn)定的現(xiàn)金流入。

3、項(xiàng)目的必要性和可行性

（1）項(xiàng)目的必要性

AMHS系統(tǒng)國產(chǎn)化是半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展必然趨勢(shì)

在半導(dǎo)體加工廠中，AMHS 系統(tǒng)（自動(dòng)化物料搬送系統(tǒng)）非常關(guān)鍵，是提高半導(dǎo)體制造產(chǎn)率、成品率以及設(shè)備利用率的保證。尤其是對(duì)于實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)設(shè)備與設(shè)備之間自動(dòng)搬送的全自動(dòng)化半導(dǎo)體工廠，一個(gè)高效的 AMHS 系統(tǒng)可以大幅縮短在制品的等待時(shí)間，從而縮短晶圓產(chǎn)品的生產(chǎn)周期。

在半導(dǎo)體芯片加工廠中已經(jīng)大量使用 AMHS 系統(tǒng)，AMHS 系統(tǒng)顯著提升了芯片加工廠的生產(chǎn)效率，并且使晶圓制造過程中的數(shù)據(jù)得以實(shí)時(shí)獲取，提升了整個(gè)制造過程的管控能力，隨著先進(jìn)封裝產(chǎn)業(yè)的發(fā)展進(jìn)步，AMHS 系統(tǒng)會(huì)進(jìn)一步擴(kuò)展到后道，成為整個(gè)半導(dǎo)

體產(chǎn)業(yè)的核心自動(dòng)化傳輸系統(tǒng)，作為半導(dǎo)體芯片加工廠與先進(jìn)封裝廠的大動(dòng)脈，AMHS 系統(tǒng)將有更加廣闊的應(yīng)用空間，AMHS 系統(tǒng)是現(xiàn)代化半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化系統(tǒng)中最大的單項(xiàng)投資項(xiàng)目，目前市場(chǎng)主要被日本大福、日本村田機(jī)械和美國AMAT 等國外公司壟斷。國內(nèi)半導(dǎo)體制造廠商進(jìn)口一條 AMHS 系統(tǒng)價(jià)格極其昂貴，售后維護(hù)和服務(wù)費(fèi)用高昂，給國內(nèi)半導(dǎo)體制造廠商增加了巨大的經(jīng)濟(jì)成本，實(shí)現(xiàn) AMHS 系統(tǒng)的國產(chǎn)化和自主可控是國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的必然趨勢(shì)。

?AMHS 系統(tǒng)是半導(dǎo)體裝備新的業(yè)務(wù)增長點(diǎn)

公司自 2018 年 6 月成立半導(dǎo)體裝備事業(yè)部以來進(jìn)一步加強(qiáng)公司在半導(dǎo)體AMHS 領(lǐng)域的技術(shù)和服務(wù)能力，完善在 AMHS 系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的布局。自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）是公司自主研發(fā)的面向半導(dǎo)體行業(yè)的高端裝備，從 2004 年開始布局研發(fā)，在 2010 年開始初步產(chǎn)業(yè)化，驗(yàn)證了自主研發(fā)的可行性，在技術(shù)方面也得到了深厚沉淀。經(jīng)過十幾年的發(fā)展，公司的自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）已經(jīng)形成了體系完整、系列豐富、應(yīng)用廣泛的獨(dú)立產(chǎn)品線。

在當(dāng)前國際形勢(shì)下以美國為首的發(fā)達(dá)國家加強(qiáng)對(duì)中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的封鎖，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)于自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）需求迫切，具有很大的市場(chǎng)前景，是企業(yè)發(fā)展?jié)崈粞b備的重要機(jī)會(huì)，自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）等半導(dǎo)體自動(dòng)化系統(tǒng)將成為支撐公司未來發(fā)展的新的增長點(diǎn)。

（2）項(xiàng)目的可行性

?AMHS 是半導(dǎo)體自動(dòng)化設(shè)備的重要組成部分，市場(chǎng)前景廣闊

半導(dǎo)體制造工廠是高度自動(dòng)化的生產(chǎn)模式，通過自動(dòng)化搬運(yùn)系統(tǒng)在各個(gè)設(shè)備之間傳輸晶圓的載具，這樣不僅可以提高工廠的生產(chǎn)效率，而且可以監(jiān)控每一片晶圓的生產(chǎn)過程，保證產(chǎn)品的品質(zhì)。半導(dǎo)體制造工廠的自動(dòng)化系統(tǒng)主要由空中無人搬運(yùn)車（OHT）、潔凈存儲(chǔ)系統(tǒng)（STK）和移動(dòng)機(jī)器人（AGV）等產(chǎn)品組成。

半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化對(duì)工廠的稼動(dòng)率非常重要，直接影響工廠的盈利能力，全球該市場(chǎng)的年采購額在 20 億美金左右，主要為日本村田機(jī)械和日本大福所壟斷。公司在國家 02 專項(xiàng)的支持下，廣泛吸收國際先進(jìn)經(jīng)驗(yàn)，以自有技術(shù)為基礎(chǔ)，開發(fā)了整套的半導(dǎo)體制造工廠自動(dòng)化系統(tǒng)，公司一方面借助國產(chǎn)化的大環(huán)境，積極尋找進(jìn)入主流工廠的市場(chǎng)機(jī)會(huì)，另一方面，也在積極開拓芯片封裝工廠、LED制造工廠、8 寸工廠等新市場(chǎng)，希望通過差異化競(jìng)爭(zhēng)，盡快實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。

隨著 5G、云計(jì)算、新能源汽車等新型市場(chǎng)需求的驅(qū)動(dòng)，以及中國半導(dǎo)體制造國產(chǎn)化的大勢(shì)所趨，公司的半導(dǎo)體設(shè)備自動(dòng)化產(chǎn)品和工廠自動(dòng)化產(chǎn)品的前景廣闊，在這個(gè)年產(chǎn)值 30 億美金的細(xì)分市場(chǎng)逐漸擴(kuò)大份額，最終成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中重要的一環(huán)。

全球半導(dǎo)體行業(yè)與設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模保持穩(wěn)健增長。半導(dǎo)體行業(yè)受益于手機(jī)、平板電腦等智能終端的銷售量增長，半導(dǎo)體行業(yè)正持續(xù)穩(wěn)定的快速發(fā)展，未來隨著人工智能和物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步擴(kuò)張，半導(dǎo)體的需求將會(huì)激增。

?公司自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）已形成完善的產(chǎn)業(yè)鏈條

自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）系統(tǒng)設(shè)備主要包括潔凈存儲(chǔ)系統(tǒng)（Stocker）、潔凈軌道系統(tǒng)、空中無人搬運(yùn)車（OHT）、空中無人穿梭車（OHS）、移動(dòng)復(fù)合機(jī)器人（MR）。公司自主研發(fā)的自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）系統(tǒng)具有高潔凈度，高可靠性，節(jié)能性的特點(diǎn)，標(biāo)準(zhǔn)的 SEMI 軟件接口，可以方便對(duì)接 MCS 系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)上報(bào)系統(tǒng)各種狀態(tài)數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)工廠智能管理。

為加強(qiáng)公司自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）系統(tǒng)的技術(shù)與服務(wù)能力，2018 年公司整合內(nèi)外部資源，進(jìn)一步完善公司自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）的產(chǎn)業(yè)鏈條，可以為半導(dǎo)體工廠廠提供整套自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)，提高了在潔凈自動(dòng)化設(shè)備領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)力。

公司自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）項(xiàng)目實(shí)施與運(yùn)營經(jīng)驗(yàn)豐富公司承擔(dān)的國家“02 專項(xiàng)”項(xiàng)目《300mmIC 生產(chǎn)線自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)研發(fā)與應(yīng)用》已經(jīng)完成驗(yàn)收，形成了 OHT、OHCV、Stocker、軌道式導(dǎo)引機(jī)器人（RGV）等系列產(chǎn)品。

在產(chǎn)業(yè)化方面，半導(dǎo)體自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）已經(jīng)實(shí)現(xiàn)在上海集成電路研發(fā)中心生產(chǎn)線上的應(yīng)用，并成功應(yīng)用于 Sandisk、賽意法等半導(dǎo)體芯片加工廠，面向面板制造廠開發(fā)的掩模版自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)，包含 Stocker、AGV、Unpack、MCS 系統(tǒng)，已經(jīng)在華星光電 T1、T7 工廠及夏普廣州廠實(shí)現(xiàn)成熟應(yīng)用，成為行業(yè)新的標(biāo)桿解決方案，面向新型 OLED 顯示技術(shù)開發(fā)的物料搬運(yùn)存儲(chǔ)系統(tǒng)包含OHCV、BAY、Stocker、磁導(dǎo)航機(jī)器人（MGV）、大負(fù)載潔凈機(jī)械手，已成功應(yīng)用于維信諾、華星光電等工廠，此外公司的 AGV 等半導(dǎo)體自動(dòng)搬運(yùn)子系統(tǒng)在半導(dǎo)體行業(yè)中已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了批量應(yīng)用，具有非常豐富的項(xiàng)目實(shí)施與運(yùn)營經(jīng)驗(yàn)。